GMORSのパーフロロエラストマー製品は、シリコンウエハー製造プロセス工程において、多種プロセスガスへの耐性と

優れた耐熱安定性を持ちながら、低アウトガス特性とメタルイオン低含有特性も有しており、

大手半導体製造装置メーカー様にも御承認いただいております。